Svensk definition
Tillverkning av tekniska produkter i mikroskala (1-100 mikrometer), som t ex kretskort eller MEMS. Processen omfattar vanligtvis massframställning av hundratals eller miljontals identiska strukturer med hjälp av tunnfilmsteknik i utrymmen med kontrollerad atmosfär.
Engelsk definition
Manufacturing technology for making microscopic devices in the micrometer range (typically 1-100 micrometers), such as integrated circuits or MEMS. The process usually involves replication and parallel fabrication of hundreds or millions of identical structures using various thin film deposition techniques and carried out in environmentally-controlled clean rooms.
Svenska synonymer
Inga svenska synonymer finns.
Engelska synonymer
Microtechnologies — Micromachining — Micromachinings — Micromanufacturing — Micromanufacturings — Microfabrication — Microfabrications